光聲光譜氣體分析儀

DKG ONE-CF₄

檢測需求

潔凈室需要控制污染物水平。準(zhǔn)確、可靠和低維護(hù)成本的潔凈室氣態(tài)分子污染物AMC控制可以顯著的提升產(chǎn)能。

可靠的監(jiān)測

高靈敏度的DKG ONE-CF₄可以在生產(chǎn)環(huán)境中快速的探測污染物。另外，直接吸收式的檢測因其零背景的性質(zhì)，可保證長期高穩(wěn)定性。DKG ONE-CF₄可與其他檢測儀器，如顆粒物監(jiān)測儀等，整合在一個(gè)機(jī)柜里。

技術(shù)應(yīng)用

DKG ONE-CF₄分析儀是基于超靈敏懸臂梁增強(qiáng)光聲光譜探測技術(shù)，結(jié)合量子級(jí)聯(lián)激光（QCL）光源，工作于CF₄的中紅外基本光譜吸收峰。這兩者的結(jié)合提供了足夠的靈敏度可以無時(shí)延的探測最微小濃度的CF₄噴濺或者溢出，同時(shí)保證了超高水平的穩(wěn)定性。重新校準(zhǔn)的周期長達(dá)幾個(gè)月甚至幾年，大大減低了總體持有成本。

光聲光譜氣體分析儀優(yōu)勢

l 準(zhǔn)確、可靠和低維護(hù)成本的潔凈室污染控制

l 快速的響應(yīng)時(shí)間，以捕捉濃度突然上升

l 獨(dú)立運(yùn)行系統(tǒng)，內(nèi)置氣體交換泵

l 無耗材或者化學(xué)試劑

l 短光程，單點(diǎn)校準(zhǔn)也可達(dá)到業(yè)內(nèi)的動(dòng)態(tài)量程

l 直接吸收測量，無漂移

l 校準(zhǔn)間隔長（可達(dá)數(shù)年）

l 高選擇性，不受乙醛和其他VOC的干擾

機(jī)箱選項(xiàng)

單氣體分析

DKG ONE-CF₄為用戶提供簡潔直觀的用戶界面，包括一塊高分辨率的顯示屏和一個(gè)旋轉(zhuǎn)按鈕。

便攜操作

可選的便攜式外箱適用于可預(yù)見泄漏區(qū)域的檢測。

移動(dòng)式整合方案

幾個(gè)DKG ONE-CF₄單元可以整合在同一個(gè)監(jiān)測系統(tǒng)，移動(dòng)式平臺(tái)可以快速的移動(dòng)到不同的關(guān)鍵測點(diǎn)。

光聲光譜氣體分析儀特點(diǎn)

l 高選擇性的監(jiān)測痕量水平的CF₄

l 檢測下限(LoD)低于0.1 ppb

l 響應(yīng)時(shí)間可設(shè)置，從5秒到3分鐘

l 動(dòng)態(tài)范圍寬，運(yùn)行穩(wěn)定

l 無耗材

l 低樣品量（幾ml）

l 內(nèi)置氣體交換系統(tǒng)

l 重新校準(zhǔn)間隔長（幾個(gè)月）

l 直觀的用戶界面

l 內(nèi)置顯示屏，可數(shù)字式或者圖線式顯示結(jié)果

l 可通過局域網(wǎng)遠(yuǎn)程操作

技術(shù)原理

l 工作原理：紅外光聲光譜

l 超靈敏光學(xué)麥克風(fēng)，基于微電機(jī)懸臂梁傳感器，結(jié)合激光干涉儀測量懸臂梁的微觀運(yùn)動(dòng)

l 光源：分布式反饋量子級(jí)聯(lián)激光

l 樣品池溫度穩(wěn)定于50℃

通用

l 19"3U外殼，適用于臺(tái)式或者機(jī)架固定安裝

l 尺寸：48.4 cm W x 13.9 cm H x 44 cm D；便攜式尺寸：51.85cmx40.5cmx23cm

l 重量：約13 Kg（便攜式約15Kg）

l 內(nèi)置計(jì)算機(jī)，帶7"寬屏顯示器

l 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)：在最短采樣間隔連續(xù)監(jiān)測的情況下，足夠存儲(chǔ)一年

l 內(nèi)部總氣路體積：30ml

l 電源

輸入電壓：90～264 VAC，47～63 Hz

輸入功率：75W

l 接口：以太接口，USB，可選RS485，RS232，電流輸出，電壓輸出，MODBUS和AK協(xié)議

l DKG ONE-CF₄可以通過智能手機(jī)，平板，電腦或者另一臺(tái)DKG ONE-CF₄（即將推出)遠(yuǎn)程控制

環(huán)境

l 運(yùn)行條件

溫度范圍：0℃～+49℃

濕度：無凝露

壓力：750mbar～1050 mbar

防塵/水等級(jí)：IP20(IEC 529)

l 儲(chǔ)存條件

溫度范圍：-20℃～+60℃

l 樣品氣體條件

溫度范圍：0℃～+49°C

濕度：無凝露，溫度達(dá)35°C時(shí)相對濕度80%，溫度達(dá)49°C時(shí)線性下降至35%

壓力：750 mbar～1050 mbar

氣流：約1L/min

顆粒物<1μm

測量參數(shù)

l 響應(yīng)時(shí)間：取決于用戶可定義通道積分時(shí)間CIT以及氣體沖洗設(shè)定。根據(jù)平均時(shí)間和采樣設(shè)定從大約10秒到幾分鐘不等

l 監(jiān)測下限：小于0.1ppb

l 動(dòng)態(tài)量程：大于5個(gè)數(shù)量級(jí)（檢測下限的100,000倍)

l 重復(fù)性：運(yùn)行條件下，校準(zhǔn)濃度重復(fù)性小于1%

l 準(zhǔn)確度：校準(zhǔn)濃度高于5%，受限于校準(zhǔn)氣體準(zhǔn)確度

l 溫度穩(wěn)定性：在運(yùn)行溫度范圍內(nèi)的環(huán)境溫度變化不會(huì)導(dǎo)致漂移

l 壓力穩(wěn)定性：壓力范圍內(nèi)的樣品壓力變化不會(huì)導(dǎo)致漂移