CF4 光聲光譜氣體分析儀

檢測(cè)需求：

潔凈室需要控制污染物水平。準(zhǔn)確、可靠和低維護(hù)成本的潔凈室氣態(tài)分?污染物AMC控制可以顯著的提升產(chǎn)能。

CF4 光聲光譜氣體分析儀

可靠的監(jiān)測(cè)：

高靈敏度的DKG ONE-CF4可以在生產(chǎn)環(huán)境中快速的探測(cè)污染物。另外，直接吸收式的檢測(cè)因其零背景的性質(zhì)，可保證長(zhǎng)期高穩(wěn)定性。

超靈敏光學(xué)懸臂梁麥克風(fēng)

CF4 光聲光譜氣體分析儀

技術(shù)應(yīng)用：

DKG ONE-CF4分析儀是基于超靈敏懸臂梁增強(qiáng)光聲光譜探測(cè)技術(shù)，結(jié)合量?級(jí)聯(lián)激光（QCL）光源，工作于CF4的中紅外基本光譜吸收峰。這兩者的結(jié)合提供了?夠的靈敏度可以無時(shí)延的探測(cè)最微小濃度的CF4溢出，同時(shí)保證了超高水平的穩(wěn)定性。重新校準(zhǔn)的周期長(zhǎng)達(dá)幾個(gè)?甚?幾年，大大減低了總體持有成本。

CF4 光聲光譜氣體分析儀

優(yōu)勢(shì)：

準(zhǔn)確、可靠和低維護(hù)成本的潔凈室污染控制

快速的響應(yīng)時(shí)間，以捕捉濃度突然上升

獨(dú)立運(yùn)行系統(tǒng)，內(nèi)置氣體交換泵

無耗材或者化學(xué)試劑

短光程，單點(diǎn)校準(zhǔn)也可達(dá)到突出的動(dòng)態(tài)量程

直接吸收測(cè)量，無漂移

校準(zhǔn)間隔長(zhǎng)（可達(dá)數(shù)年）

高選擇性，不受乙醛和其他VOC的?擾

CF4 光聲光譜氣體分析儀

特點(diǎn)：

高選擇性的監(jiān)測(cè)痕量水平的CF4

檢測(cè)下限(LoD)低于0.1 ppb

響應(yīng)時(shí)間可設(shè)置，從3秒到3分鐘

動(dòng)態(tài)范圍寬，運(yùn)行穩(wěn)定

無耗材

低樣品量

內(nèi)置氣體交換系統(tǒng)

重新校準(zhǔn)間隔長(zhǎng)（幾個(gè)月）

直觀的用戶界面

內(nèi)置顯示屏，可數(shù)字式或者圖線式顯示結(jié)果

可通過局域網(wǎng)遠(yuǎn)程操作

CF4 光聲光譜氣體分析儀

機(jī)箱選項(xiàng)：

實(shí)時(shí)在線分析

DKG ONE-CF4為用戶提供簡(jiǎn)潔直觀的用戶界面，包括一塊高分辨率的顯示屏和一個(gè)旋轉(zhuǎn)按鈕。

便攜操作

可選的便攜式外箱適用于可預(yù)見泄漏區(qū)域的檢測(cè)。

移動(dòng)式整合方案

幾個(gè)DKG ONE-CF4單元可以整合在同一個(gè)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)。

CF4 光聲光譜氣體分析儀

技術(shù)原理

工作原理：紅外光聲光譜

超靈敏光學(xué)麥克風(fēng)，基于微電機(jī)懸臂傳感器，結(jié)合激光干涉儀測(cè)量懸臂梁的微觀運(yùn)動(dòng)

光源：分布式反饋量子級(jí)聯(lián)激光

樣品池溫度穩(wěn)定于50℃

CF4 光聲光譜氣體分析儀

檢測(cè)參數(shù)

響應(yīng)時(shí)間：根據(jù)通道積分時(shí)間(C.I.T.)和氣體 置換周期，典型從3秒到3分鐘

檢測(cè)限：0.1ppb

動(dòng)態(tài)量程：典型5級(jí)(100,000倍檢測(cè)限)

重復(fù)性：小于1%的測(cè)量值，在工作條件標(biāo)準(zhǔn)濃 度下

準(zhǔn)確度：取決于校準(zhǔn)濃度標(biāo)準(zhǔn)氣體的精度，典型2～5 %

溫度穩(wěn)定性：在溫度工作范圍內(nèi)無影響

壓力穩(wěn)定性：在壓力工作范圍內(nèi)無影響

CF4 光聲光譜氣體分析儀

通用

19"3 U工業(yè)機(jī)箱，適用于全部臺(tái)式或機(jī)架固定安裝

尺寸：48.4cm W x 13.9cm H x 44cm D(19.1 In W x 5.5 in H x 17.3 in D)

重量：約13kg

內(nèi)置7"前置顯示器的嵌入式計(jì)算機(jī)

數(shù)據(jù)存儲(chǔ)容量足夠至少1年的連續(xù)監(jiān)測(cè)

總采氣量：10～30ml

后面板有四路氣體接口，兩路為采樣接口，配有粉塵顆粒物過濾器

供電：

輸入電壓：100～240VAC，50～60 Hz

輸入功率：100～200 W（根據(jù)具體要求而定）

通訊接口：Ethernet、USB

DKG ONE-CF4可以通過智能手機(jī)，平板，電腦或者另一臺(tái)DKG ONE-CF4（即將推出)遠(yuǎn)程控制

CF4 光聲光譜氣體分析儀

環(huán)境

運(yùn)行條件

溫度范圍：0℃～+49℃

濕度：無凝露

壓力：750mbar～1050 mbar

防塵/水等級(jí)：IP20(IEC 529)

儲(chǔ)存條件

溫度范圍：-20℃～+60℃

樣品氣體條件

溫度范圍：0℃～+49℃

濕度：無凝露，溫度達(dá)35°C時(shí)最大相對(duì)濕度80%，

溫度達(dá)49°C時(shí)線性下降至35%

壓力：750 mbar～1050 mbar

氣流：約1L/min

顆粒物<1μm

CF4 光聲光譜氣體分析儀

標(biāo)準(zhǔn)：

符合低電壓指令2014/35/EU，EMC指令2004/108/EC和ROHS 2指令2011/65/EU